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论文

论文题目：	利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术
第一作者：	魏徐兵;尚伦霖;鲁志斌;张广安
联系作者：
发表刊物：	真空与低温
发表年度：	2020
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